KNF真空泵分前級(jí)泵和主泵德國KNF主泵和前級(jí)泵的配合一般是真空機(jī)組。
前級(jí)泵可以理解為機(jī)械泵。本身可以使用，但抽氣速率或者真空度滿足不了使用要求，這種情況下我們加一個(gè)增壓泵。
主泵可以理解為增壓泵，用來提高機(jī)械泵的真空度跟抽氣量。像羅茨泵，擴(kuò)散泵，分子泵等。這些本身不能使用（壓差太大）所以需要機(jī)械泵預(yù)抽，將真空室內(nèi)抽成粗真空，然后主泵開始工作。
運(yùn)行過程中主要的抽氣量 極限真空度是靠主泵來實(shí)現(xiàn)。所以我們叫它為主泵，起主要作用的泵。
前級(jí)泵就是在主泵運(yùn)行之前需要提前開的泵，就叫前級(jí)泵，主泵之前的泵。輔助主泵運(yùn)行的泵。
結(jié)構(gòu)特點(diǎn)
（1)泵總體結(jié)構(gòu)型式
真空泵的泵體的布置結(jié)構(gòu)決定了泵的總體結(jié)構(gòu)。
立式結(jié)構(gòu)的進(jìn)、排氣口水平設(shè)置，裝配和連接管路都比較方便。但泵的重心較高，在高速運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)穩(wěn)定性差，故這種型式多用于小泵。
臥式泵的進(jìn)氣口在上，排氣口在下。有時(shí)為了真空系統(tǒng)管道安裝連接方便，可將排氣口從水平方向接出，即進(jìn)、排氣方向是相互垂直的。此時(shí)，排氣口可以從左或右兩個(gè)方向開口，除接排氣管道一端外，另一端堵死或接旁通閥。這種泵結(jié)構(gòu)重心低，高速運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)穩(wěn)定性好。一般大、中型泵多采用此種結(jié)構(gòu)。
泵的兩個(gè)轉(zhuǎn)子軸與水平面垂直安裝。這種結(jié)構(gòu)裝配間隙容易控制，轉(zhuǎn)子裝配方便，泵占地面積小。但泵重心較高且齒輪拆裝不便，潤滑機(jī)構(gòu)也相對(duì)復(fù)雜。
（2)泵的傳動(dòng)方式
真空泵的兩個(gè)轉(zhuǎn)子是通過一對(duì)高精度齒輪來實(shí)現(xiàn)其相對(duì)同步運(yùn)轉(zhuǎn)的。主動(dòng)軸通過聯(lián)軸器與電機(jī)聯(lián)接。在傳動(dòng)結(jié)構(gòu)布置上主要有以下兩種：其一是電動(dòng)機(jī)與齒輪放在轉(zhuǎn)子的同一側(cè)如圖。從動(dòng)轉(zhuǎn)子由電動(dòng)機(jī)端齒輪直接傳過去帶動(dòng)，這樣主動(dòng)轉(zhuǎn)子軸的扭轉(zhuǎn)變形小，則兩個(gè)轉(zhuǎn)子之間的間隙不會(huì)因主動(dòng)軸的扭轉(zhuǎn)變形大而改變，故使轉(zhuǎn)子之間的間隙在運(yùn)轉(zhuǎn)過程中均勻。這種傳動(dòng)方式的zui大缺點(diǎn)是：a.主動(dòng)軸上有三個(gè)軸承，增加了泵的加工和裝配難度，齒輪的拆裝及調(diào)整也不便；b.整體結(jié)構(gòu)不勻稱，泵的重心偏向電動(dòng)機(jī)和齒輪箱一側(cè)。
KNF真空泵分前級(jí)泵和主泵特點(diǎn)
(1)在較寬的壓力范圍內(nèi)有較大的抽速；
(2)轉(zhuǎn)子具有良好的幾何對(duì)稱性，故振動(dòng)小，運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn)。轉(zhuǎn)子間及轉(zhuǎn)子和殼體間均有間隙，不用潤滑，摩擦損失小，可大大降低驅(qū)動(dòng)功率，從而可實(shí)現(xiàn)較高轉(zhuǎn)速；(3)泵腔內(nèi)無需用油密封和潤滑，可減少油蒸氣對(duì)真空系統(tǒng)的污染；(4)泵腔內(nèi)無壓縮，無排氣閥。結(jié)構(gòu)簡單、緊湊，對(duì)被抽氣體中的灰塵和水蒸汽不敏感；(5)壓縮比較低，對(duì)氫氣抽氣效果差；(6)轉(zhuǎn)子表面為形狀較為復(fù)雜的曲線柱面，加工和檢查比較困難。
KNF真空泵分前級(jí)泵和主泵